个人简介： 

教授，博士生导师（学术博导、工程博导），本科、硕士毕业于太阳成tyc7111cc，博士毕业于东南大学。现任太阳成tyc7111cc微tyc7111cc太阳成集团副院长，安徽省MEMS工程技术研究中心主任，太阳成tyc7111cc电子信息专业学位委员会委员。

在Microsystems & Nanoengineering、IEEE Sensors Journal、IEEE Electron Device Letters、IEEE Transactions on Electron Devices、Sensors & Actuators以及《真空科学与技术学报》、《中国机械工程》等国内外核心期刊发表论文100余篇，获授权发明专利30余项，获省部级科技奖一等奖1项，二等奖1项。相关研究成果被编著于微米纳米系列丛书《微米纳米器件测试技术》和国际著名出版机构Springer出版的《Micro Electro Mechanical Systems》。是《传感技术学报》、《仪表技术与传感器》和《半导体光电》等期刊编委，是多个序列国家级/省部级项目评审专家。

主要研究方向：

MEMS传感器与微纳系统的设计制造、封装测试与可靠性，多传感器模块集成与信息融合技术，宽禁带半导体技术等

开设课程（本科生、研究生）：

1. 本科生课程：《半导体器件物理》

2. 研究生/博士生课程：《MEMS设计与应用》

科研项目：

主要在研项目：

1. 国家重点研发计划项目（课题）：多传感模块融合模型和预警算法，163.00万元，主持

2. 安徽省科技创新攻坚计划项目：新能源汽车主动降噪系统三轴MEMS电容式加速度传感器研发及应用，300.00万元，主持

3. 安徽省车芯协同计划项目：高精度车规级***传感器研发及产业化，215.74万，主持

4. 企业委托研发项目：高端车规***芯片产品研发，300.00万，主持

5. 企业委托研发项目：主动降噪RNC传感器芯片模组技术研发，100.00万，主持

6. 企业委托研发项目：高g值MEMS加速度传感器研发与关键技术研发，100.00万，主持

代表成果：

一、部分学术论文：

1. Baichuan Sun, Gaobin Xu*, Zhaohui Yang, Cunhe Guan, Xu Ji, Shirong Chen, Xing Chen, Yuanming Ma and Jianguo Feng. Dual-mode temperature monitoring using high-performance flexible thermocouple sensors based on PEDOT: PSS/CNTs and MXene/Bi₂Se₃, Microsystems & Nanoengineering (www.nature.com/micronano), 2025, 11(1): 1-15.

2. Baichuan Sun, Gaobin Xu*, Zhaohui Yang, Cunhe Guan, Shirong Chen , Xing Chen, Yuanming Ma, Yongqiang Yu , and Jianguo Feng. A Flexible Bimodal Pressure–Temperature Sensor With 3-D Sandwich Structure and Thermal Drift Mitigation. IEEE Sensors Journal, 2025, 25(10): 18123-18135.

3. Zhaohui Yang, Gaobin Xu* , Shirong Chen, Baichuan Sun, Cunhe Guan, Jianguo Feng , Xing Chen, Yuanming Ma, and Yongqiang Yu. Thermopile Infrared Detector Using Doped Polysilicon Nanocones Absorber for Selective Wavelength Absorption and Performance Enhancement. IEEE Transactions on Electron Devices, 2024, 71(10): 6403-6409.

4. Baichuan Sun, Gaobin Xu*, Cunhe Guan, Xu Ji, Zhaohui Yang, Shirong Chen, Xing Chen, Yuanming Ma, Yongqiang Yu, Jianguo Feng. Nacre-inspired hierarchical bionic substrate for enhanced thermal and mechanical stability in flexible applications. Sensors & Actuators: A. Physical, 2024, 378: 115832.

5. Zhaohui Yang, Gaobin Xu, Shirong Chen, Yongqiang Yu, Baichuan Sun, Cunhe Guan, Jianguo Feng, Yuanming Ma, and Xing Chen. High-Responsivity van der Waals Schottky Photodiodes Based on Maskless Etched Wafer-Scale Silicon Nanoholes. IEEE Electron Device Letters, 2024, 45(5): 865-868.

6. Jingqi Jiang, Gaobin Xu*, Huanzhang Wang, Zhaohui Yang, Baichuan Sun, Cunhe Guan, Jianguo Feng, Yuanming Ma, Xing Chen*. High-accuracy road surface condition detection through multi-sensor information fusion based on WOA-BP neural network. Sensors & Actuators: A. Physical, 2024, 378:115829.

7. Zhaohui Yang, Gaobin Xu*, Shirong Chen, Baichuan Sun, Xing Chen, Yuanming Ma, Yongqiang Yu, and Jianguo Feng. High-Accuracy Dynamic Target Detection Through Low-Readout Channel Thermopile Infrared Array Detector Enhanced by Machine Learning Techniques. IEEE Sensors Journal, 2024, 24(13): 21300-21310.

8. Zhaohui Yang, Gaobin Xu*, Shirong Chen, Jianguo Feng, Xing Chen, Yuanming Ma, Yongqiang Yu, and Baichuan Sun. Fast Response Infrared Detector Using a Radially Distributed Dual-Layer Thermopile. IEEE Sensors Journal, 2024, 24(2): 1233-1244.

9. Baichuan Sun, Gaobin Xu*, Xu Ji, Zhaohui Yang, Cunhe Guan, Shirong Chen, Xing Chen, Yuanming Ma, yongqiang Yu, and Jiangguo Feng. A strain-resistant flexible thermistor sensor array based on CNT/MXene hybrid materials for lithium-ion battery and human temperature monitoring. Sensors and Actuators A: Physical, 2024, 368: 115059.

10. Jianguo Feng, Yang Wang, Jun Liu, Yuanting Zhang, Mengjun Zhang,  Gaobin Xu, Xichen Yuan, Pavel Neuzil. High-efficiency inertial focusing based on enhanced secondary flow generated by ring-inner obstacle combined channels. Sensors & Actuators: B. Chemical, 2024, 398: 134708

11. Mengxue Lu, Qingtian Guan, Chen Wang, Yangyang Sun, Guangzhu Liu, Gaobin Xu, Yongqiang Yu and Mengchao Ma. Ultra-High Detectivity MBene/Si vdW Schottky Photodiode for Color Single-Pixel Imaging. Adv. Optical Mater. 2024, 12: 2302559

12. Shuming Mao, Zhaohui Yang, Yangyang Sun, Chen Wang, Yuanming Ma*, Shirong Chen, Gaobin Xu*, and Yongqiang Yu*. High-Responsivity Ti₃C₂Tx/SiC Nano-Cone Holes UV van der Waals Schottky Photodiode by Maskless Etching. IEEE Electron Device Letters, 2023, 44(4): 654-657.

13. Song Longmei, Xu Enze, Yu Yongqiang, Jie Jianyong, Xia Yu, Chen Shirong, Jiang Yang, Xu Gaobin, Li Dachuang, Jie Jiansheng. High-Barrier-Height Ti3C2Tx/Si Microstructure Schottky Junction-Based Self-Powered Photodetectors for Photoplethysmographic Monitoring, Advanced Materials Technologies, 2022, 2200555(1-9).

14. Zhang Hao, Cui Yinghao, Lu Mengxue, Yang Qingyang, Feng Jianguo, Chen Shirong, Yang Xiaoping, Xu Gaobin, Yu Yongqiang. Self-filtered NIR Photodetectors Based on Silicon Micro-holes Array for Stable Heart Rate Monitoring. IEEE Electron Device Letters, 2022, 43(12):2129-2132.

15.  Yan Xu, Yuanming Ma, Yongqiang Yu, Shirong Chen, Yajing Chang, Xing Chenand Gaobin Xu. Self-powered, ultra-high detectivity and highspeed near-infrared photodetectors fromstacked–layered MoSe₂/Si heterojunction. Nanotechnology, 2021, 32: 075201

二、部分发明专利：

1. 许高斌, 杨宇诚, 刘袁涛, 马渊明, 陈兴, 陈士荣, 关存贺, 尤锦涛. 一种MEMS电容式加速度计及其制造方法, CN202510463792.4

2. 许高斌, 关存贺, 李文婷, 马渊明, 陈兴, 陈士荣, 孙百川, 任政. 具有自检功能的MEMS三轴加速度计及制备方法, CN202510340223.0

3. 许高斌, 孙百川, 陈兴, 马渊明, 陈士荣, 季旭, 关存贺. 一种柔性压力-温度双传感器及其制备方法, CN202510304532.2

4. 许高斌, 关存贺, 陈兴, 马渊明, 陈士荣, 李文婷, 孙百川, 刘宏达. 基于TSV的MEMS电容式加速度计晶圆级封装结构及封装方法, CN202510082234.3

5. 许高斌, 孙百川, 陈兴, 马渊明, 陈士荣, 季旭, 关存贺. 一种双模式柔性热电偶传感器及其制备方法, CN202510043427.8

6. 许高斌, 季旭, 陈兴, 马渊明, 冯建国, 于永强, 陈士荣, 王峰, 尹盛华. 用于DSR的静电MEMS扬声器及其制造方法, CN202411540113.0

7. 许高斌, 王峰, 马渊明, 陈兴, 陈士荣, 冯建国, 于永强, 尹盛华, 季旭. 静电梳齿驱动的二维MEMS扫描镜, CN202410641005.6

8. 许高斌, 朱晓萌, 马渊明, 陈兴, 陈士荣, 冯建国, 徐琛, 张宇. 用于车身悬架系统的电容式加速度传感器及制备方法, CN202410017877.5

9. 许高斌, 高雅, 马渊明, 陈兴, 冯建国, 陈士荣, 于永强, 徐琛, 张宇. 一种用于飞机供氧检测的MEMS压阻式表压压力传感器及其制备方法, CN202310940729.6

10. 许高斌, 徐琛, 马渊明, 陈兴, 陈士荣, 冯建国, 杨朝晖, 张宇. 一种基于薄膜自卷曲技术的GMI磁传感器的加工方法, CN202310112289.5

11. 许高斌, 花翔, 杜林云, 马渊明, 陈兴. 一种光学式MEMS加速度传感器及其制备方法，CN202011125893.4

12. 许高斌, 杨朝晖, 陈士荣, 陈兴, 马渊明, 王琪, 李海生. 一种MEMS热电堆红外探测器及制备方法，CN202010996100.X

13. 许高斌, 王亚洲, 马渊明, 陈兴, 张文晋, 于永强, 陈士荣. 基于纳米压电梁的谐振式加速度传感器及其制备方法, CN202010699338.6

14. 许高斌, 王超超, 陈兴, 马渊明, 胡海霖. 一种压电式MEMS加速度传感器及其制备方法, CN201811021723.4

15. 许高斌, 胡海霖, 陈兴, 马渊明, 王超超. 一种谐振式压力传感器的制备方法, CN201810209589.4

获奖荣誉：

1.    2006年度高等学校科学技术奖（自然科学一等奖），项目名称：多晶硅电热微执行器模型、制备与表征，个人证件编号：2006-***

2.   2009年度江苏省科技进步奖（二等奖），项目名称：微机电系统模型、模拟及应用，个人证书编号：2009-*-*-**-**